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        螺桿真空泵在半導體制造中的關(guān)鍵作用

        時(shí)間:2024-03-20 15:43來(lái)源:德耐爾公司 作者:德耐爾股份
        在半導體制造工藝中,螺桿真空泵作為核心設備,其運行工況對生產(chǎn)設備的穩定性和可靠性起著(zhù)重要作用。因此,選擇合適的螺桿真空泵作為核心設備,能在半導體生產(chǎn)中發(fā)揮關(guān)鍵作用。

                 在半導體制造工藝中,螺桿真空泵作為核心設備,其運行工況對生產(chǎn)設備的穩定性和可靠性起著(zhù)重要作用。因此,選擇合適的螺桿真空泵作為核心設備,能在半導體生產(chǎn)中發(fā)揮關(guān)鍵作用。


                適用范圍

                螺桿真空泵的適用范圍較廣,可以應用于半導體生產(chǎn)、化學(xué)化工、食品、醫藥、電子制造、半導體封裝等行業(yè)。

               半導體行業(yè)的螺桿真空泵應用最為廣泛,主要應用于硅片制造,清洗與測試,前處理以及真空封裝等領(lǐng)域。

                在食品制造行業(yè)中,螺桿真空泵可以應用于肉類(lèi)、水產(chǎn)品的加工和保存過(guò)程中的真空輸送、真空干燥和真空冷凍等。

                在醫藥制造行業(yè)中,螺桿真空泵可以應用于制藥過(guò)程中的干燥、包裝以及其他特殊工藝過(guò)程的真空泵。

                在電子制造行業(yè)中,螺桿真空泵還可以用于電子芯片清洗與測試過(guò)程中的真空泵以及半導體封裝和后處理等過(guò)程中的真空泵。

                結構與工作原理

                螺桿真空泵的結構,包括轉子、定子和螺桿轉子三部分,工作時(shí)由螺桿轉子在定子內旋轉形成真空室,將氣體吸入并壓縮。

                定子部分由定子齒形、轉子組件等組成,其主要作用是將氣體吸入后,通過(guò)轉子組件的轉動(dòng)將氣體壓縮為可吸入狀態(tài),通過(guò)機械能或電氣信號輸出達到抽除真空的目的。

                在半導體制造工藝中,由于工藝過(guò)程要求設備在極低真空條件下運行,所以需要對螺桿真空泵的運行工況進(jìn)行嚴格控制。根據不同工藝要求和對真空度的要求,螺桿真空泵可以滿(mǎn)足半導體制造行業(yè)的不同工藝需求。

                半導體制造行業(yè)對螺桿真空泵的運行工況有較高的要求,包括:極限壓力、溫度、流量、流速、振動(dòng)、噪聲等。

        螺桿真空泵

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        作者:德耐爾@德耐爾空壓機  空壓機修訂日期:2024-03-20
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